[发明专利]电流源装置和方法在审
| 申请号： | 202080029654.0 | 申请日： | 2020-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN113711330A | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 王義向;王燕秋;何晓东;叶国凡 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/141 | 分类号： | H01J37/141;H01J37/24 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 赵林琳 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在其他方面中公开了一种诸如可以用在带电粒子检查系统中的电源。该电源包括直流源，诸如连接到受控电压源的可编程线性电流源，其中用于受控电压源的控制信号从跨直流源测量的电压降被导出。 | ||
| 搜索关键词： | 电流 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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