[发明专利]工件的切断方法及线锯在审
| 申请号： | 202080030275.3 | 申请日： | 2020-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN113710397A | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 小林健司 | 申请（专利权）人： | 信越半导体株式会社 |
| 主分类号： | B23D61/18 | 分类号： | B23D61/18;B24B27/06;B24B55/02;B28D5/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张晶;敖莲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种工件的切断方法，其通过线锯进行，通过将固定磨粒金属线卷绕至多个带沟滚轮而形成金属线列，一边将冷却剂供给至固定磨粒金属线，并使固定磨粒金属线在轴向上往复移动，一边将工件向金属线列切入进给，从而将工件在轴向排列的多个位置同时切断，其中，所述工件通过工件保持装置进行保持，其特征在于，在工件的切断结束后且从所述金属线列拉出所述工件时，将冷却剂的流量设定为180L/min以上，并将固定磨粒金属线在轴向的移动速度设定为6m/min以上30m/min以下。由此，提供一种工件的切断方法，其在切断工件后拉出金属线的过程中，不会发生固定磨粒金属线卡住于工件而产生锯痕或发生固定磨粒金属线断线的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 切断 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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