[发明专利]化合物、产酸剂、组合物、固化物及图案以及固化物及图案的制造方法在审

专利信息
申请号: 202080030294.6 申请日: 2020-09-08
公开(公告)号: CN113727971A 公开(公告)日: 2021-11-30
发明(设计)人: 松井依纯;中屋敷哲千;有吉智幸 申请(专利权)人: 株式会社艾迪科
主分类号: C07D209/14 分类号: C07D209/14;C07D405/10;G03F7/039
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 张楠
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明的目的在于提供产酸灵敏度优异、且可获得着色得以抑制的树脂组合物的化合物。本发明为下述通式(A)所表示的化合物。(式中,R11、R12、R14、R15、R16及R17分别独立地表示氢原子、碳原子数1~20的无取代或具有取代基的脂肪族烃基等,R13表示碳原子数1~20的无取代或具有取代基的脂肪族烃基等,R11、R12、R14、R15、R16及R17中的1个以上为上述通式(1)所表示的基团、或者上述R13为取代有上述通式(1)所表示的基团的芳基,R1表示碳原子数1~20的无取代或具有取代基的脂肪族烃基等,R2表示氢原子、碳原子数1~20的无取代或具有取代基的脂肪族烃基等。)
搜索关键词: 化合物 产酸剂 组合 固化 图案 以及 制造 方法
【主权项】:
暂无信息
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