[发明专利]压力传感器有效
| 申请号： | 202080030706.6 | 申请日： | 2020-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN113728217B | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 小玉博志;吉田直树;宫下香织;武田英嗣;山田信明;友松义浩;柳泽泰史;绿川祐介;釜鸣志朗;横山贤一;豊田稻男;竹内久幸;新美直久;高桥雅和;浦靖武;浅野刚次;蒲田幸广 | 申请（专利权）人： | 长野计器株式会社;株式会社电装 |
| 主分类号： | G01L9/06 | 分类号： | G01L9/06 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐殿军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 压力传感器具备：芯柱(10)，形成有供压力介质被导入的压力导入孔，并且形成有能够根据压力介质的压力而变形的隔膜(13)；应变检测元件(30)，隔着绝缘膜(20)被配置在隔膜(13)上，输出与隔膜(13)的变形相应的检测信号。应变检测元件(30)构成为具有由多晶硅构成的部分。而且，在绝缘膜(20)与应变检测元件(30)之间配置有低掺杂层(23)，低掺杂层(23)的电阻率比多晶硅高，并且结晶性比绝缘膜提高。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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