[发明专利]固态二次电池的制造装置及固态二次电池的制造方法在审
| 申请号： | 202080031402.1 | 申请日： | 2020-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN113728481A | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 栗城和贵;田岛亮太;米田祐美子;山崎舜平 | 申请（专利权）人： | 株式会社半导体能源研究所 |
| 主分类号： | H01M10/0562 | 分类号： | H01M10/0562;H01M10/0585 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 申发振 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的课题之一是实现一种能够使固态二次电池的制造全自动化的制造装置。本发明的制造装置包括掩模对准室、与掩模对准室相连的第一传送室、与第一传送室相连的第二传送室、与第二传送室相连的第一成膜室、与第一传送室相连的第三传送室以及与第三传送室相连的第二成膜室，第一成膜室具有通过溅射法形成正极活性物质层或负极活性物质层的功能，第二成膜室具有进行锂的有机配合物与SiOx(0x≤2)的共蒸镀来形成固体电解质层的功能，从掩模对准室到第一成膜室以及从掩模对准室到第二成膜室在不暴露于大气的状态下将衬底传送。 | ||
| 搜索关键词： | 固态 二次 电池 制造 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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