[发明专利]单面抛光方法在审
| 申请号： | 202080032295.4 | 申请日： | 2020-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN113766994A | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 铃木健汰;大关正彬 | 申请（专利权）人： | 信越半导体株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/015 | 分类号： | B24B37/015;B24B37/12;B24B49/14;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张晶;谢顺星 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种单面抛光方法，其为使用抛光垫进行晶圆的表面的抛光的单面抛光方法，其特征在于，监测所述抛光垫的温度变化，从开始所述抛光时起以第一条件对所述晶圆的表面进行抛光，在所述抛光垫的温度变化从上升变成下降的时间点，从所述第一条件切换成第二条件来对所述晶圆的表面进行抛光。由此，能够正确地检测出自然氧化膜已被去除从而抑制边缘塌边。 | ||
| 搜索关键词： | 单面 抛光 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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