[发明专利]检查系统在审
| 申请号： | 202080033290.3 | 申请日： | 2020-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN113785189A | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 山浦研弥;长谷川大知 | 申请（专利权）人： | 长野自动机械株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/15 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 检查系统(1)具有：中空的探针(12)，其沿着中心轴线(11)呈棒状延伸，绕中心轴线旋转；光学系统(30)，其经由探针沿着中心轴线供给检查用的激光，并接收沿着中心轴线返回来的来自被检查物的表面的反射光；光学元件(50)，其借助探针的前端的开口(13)相对于中心轴线使检查用的激光朝向被检查物射出，并且将反射光向中心轴线方向引导；以及气体供给系统(80)，其使气体(89)经过探针而从开口排出。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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