[发明专利]具有延伸穿过交替材料的堆叠的导电柱的集成组合件有效
| 申请号： | 202080034289.2 | 申请日： | 2020-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN113841240B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 罗双强;I·V·恰雷;J·B·德胡特;R·J·克莱因 | 申请（专利权）人： | 美光科技公司 |
| 主分类号： | H10B43/27 | 分类号： | H10B43/27;H10B43/35;H10B41/35;H10B41/27;H01L29/66;H01L29/788;H01L29/792;H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 王龙 |
| 地址： | 美国爱*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一些实施例包含一种在导电节点上方具有导电宽阔区的集成组合件。所述导电节点包含第一组合物。所述导电宽阔区的底部表面包含是不同于所述第一组合物的组合物的第二组合物。堆叠位于所述导电宽阔区上方。所述堆叠包含交替的第一层级及第二层级。支柱结构垂直地延伸穿过所述堆叠。所述支柱结构中的每一者包含由绝缘衬里横向环绕的导电材料柱。所述柱中的至少一者延伸穿过所述导电宽阔区以直接接触所述导电节点中的一者。一些实施例包含形成集成组合件的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 延伸 穿过 交替 材料 堆叠 导电 集成 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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