[发明专利]用于转移设置的对准过程在审
| 申请号： | 202080036397.3 | 申请日： | 2020-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN113826165A | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 戈尔拉玛瑞扎·恰吉 | 申请（专利权）人： | 维耶尔公司 |
| 主分类号： | G12B5/00 | 分类号： | G12B5/00;B81C3/00;H01L21/98;G01D5/241 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 张晓媛 |
| 地址： | 加拿大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种将第一衬底与第二衬底对准的方法包括：将具有至少第一对准标记的所述第一衬底定位成紧密接近于具有至少第二对准标记的所述第二衬底，测量所述第一衬底及所述第二衬底两者的所述第一对准标记与所述第二对准标记之间的对准值；及基于所述所测量对准值调整所述第一衬底及所述第二衬底的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 转移 设置 对准 过程 | ||
【主权项】：
暂无信息
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