[发明专利]温度调节单元在审
| 申请号： | 202080037185.7 | 申请日： | 2020-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN113853513A | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 川村隆太郎;田口研良 | 申请（专利权）人： | 东华隆株式会社 |
| 主分类号： | G01K7/18 | 分类号： | G01K7/18;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京律和信知识产权代理事务所(普通合伙) 11446 | 代理人： | 武玉琴;谢清萍 |
| 地址： | 日本兵库*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的温度调节单元(1)包括：温度调节单元本体(2)；温度调节部(3)，其设置在温度调节单元本体(2)的内部，对温度调节对象(100)所在侧的该温度调节单元本体(2)的表面温度进行升降温；以及薄膜测温电阻部(4)，其形成在温度调节单元本体(2)的内部、温度调节对象(100)所在侧的面内的一定范围内，并且设置在比温度调节部(3)更靠近温度调节对象(100)的一侧，由热喷涂皮膜形成。该温度调节单元可以准确地测定温度调节面内的平均温度。 | ||
| 搜索关键词： | 温度 调节 单元 | ||
【主权项】：
暂无信息
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