[发明专利]用于平坦光学装置的孔在审
| 申请号： | 202080041380.7 | 申请日： | 2020-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN114008524A | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 赛捷·托克·加勒特·多莎;罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森;卢多维克·戈代;陈建安;平克什·罗希特·沙阿 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G02B1/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文描述的多个实施方式涉及用于制造光学装置的方法。本文描述的方法使得能够在基板上制造一个或多个光学装置，该基板具有围绕每个光学装置的孔，光学装置具有多个结构。本文描述的方法的一个实施方式包括：在基板的表面上设置孔材料层，在孔和基板的表面之上设置结构材料层，在孔和结构材料层之上设置硬模，在硬模之上设置图案化的光刻胶，图案化的光刻胶界定暴露的硬模部分，去除暴露的硬模部分以暴露结构材料层的结构部分，并且去除结构部分以在基板的表面的区域之上的孔之间形成多个结构。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 平坦 光学 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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