[发明专利]铣削多层式物体在审
| 申请号： | 202080041890.4 | 申请日： | 2020-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN113924634A | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | Y·扎尔 | 申请（专利权）人： | 应用材料以色列公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/305;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 史起源;侯颖媖 |
| 地址： | 以色列瑞*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种铣削机、非瞬态计算机可读介质、以及用于铣削多层式对象的方法。所述方法可以包括：(i)接收或确定与铣削工艺有关的铣削参数，所述铣削参数可以包括下列项中的至少二者：(a)散焦强度，(b)铣削工艺的持续时间，(c)在铣削工艺中供应给物镜的偏置电压，(d)离子束能量，和(e)离子束电流密度；以及(ii)通过在保持铣削参数的同时应用铣削工艺来形成凹坑，其中应用铣削工艺包括将散焦的离子束引导到多层式对象上。 | ||
| 搜索关键词： | 铣削 多层 物体 | ||
【主权项】：
暂无信息
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