[发明专利]清洗方法在审
| 申请号： | 202080045592.2 | 申请日： | 2020-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN114008539A | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 山田晃平 | 申请（专利权）人： | 花王株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;H05K3/18;C11D7/50;C11D7/36;C11D7/32 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王永红 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明在一个方式中提供一种能够降低对基板的影响，且树脂掩膜去除性优异的清洗方法。本发明在一个方式中涉及一种清洗方法，其包含使用清洗剂组合物从附着有树脂掩膜的被清洗物剥离树脂掩膜的工序，上述清洗剂组合物含有碱剂(成分A)、有机溶剂(成分B)、螯合剂(成分C)及水(成分D)，成分B是选自二醇醚及芳香族酮中的至少一种溶剂，成分C是具有2个以上的选自羧基及膦酸基中的至少一种酸基的化合物，上述清洗剂组合物在使用时的成分B的含量为1质量％以上且12质量％以下，上述清洗剂组合物在使用时的成分D的含量为65质量％以上且95质量％以下，被清洗物经过了进行如下处理的工序，该处理为使用了树脂掩膜的焊接及镀覆处理中的至少一种处理。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于花王株式会社，未经花王株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202080045592.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
