[发明专利]涂布方法和涂布装置有效
| 申请号： | 202080047747.6 | 申请日： | 2020-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN114025885B | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 桥本祐作;川北直史;吉原孝介 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B05B13/02 | 分类号： | B05B13/02;B05B14/00;B05B12/02;B05D3/10;C09D7/20;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种涂布方法，是向基板供给处理液并通过旋涂法来在基板上涂布上述处理液的涂布方法，在所述涂布方法中，在上述处理液的供给开始的同时或者晚于上述处理液的供给开始地将表面张力比上述处理液的表面张力小的上述处理液的溶剂与上述处理液混合地供给到上述基板。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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