[发明专利]量测方法和相关的计算机产品在审
| 申请号： | 202080049670.6 | 申请日： | 2020-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN114080536A | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | N·加瓦赫里;M·范德沙尔;张铁明;H·D·波斯;P·沃纳尔;S·巴拉米;M·哈吉阿玛迪;S·塔拉布林;M·塞姆克夫 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/06;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 赵林琳 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种方法，该方法包括：测量从量测目标反射的辐射，以及将经测量的辐射以分量进行分解，例如傅里叶分量或空间分量。此外，公开一种方案选择方法，其提供一种用于基于基于单分量的经测量的辐射的重新计算的相关性来选择量测设备的参数的算法。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 相关 计算机 产品 | ||
【主权项】：
暂无信息
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