[发明专利]负载锁定装置在审
| 申请号： | 202080051147.7 | 申请日： | 2020-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN114127332A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 三浦顺;福田直哉;熊谷修二;高城信二;户田哲郎;下川英利;根岸智;野村聪志;添田纯也 | 申请（专利权）人： | 佳能安内华股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/44;H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 黄盼 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 负载锁定装置具备：负载锁定室，所述负载锁定室具有与传递室连接的第一搬运口和与装载室连接的第二搬运口，所述传递室与减压处理装置连接；基板保持件，所述基板保持件在所述负载锁定室中保持基板；驱动机构，所述驱动机构以使所述基板保持件升降的方式配置于所述负载锁定室的下方，并经由连结构件与所述基板保持件连结；延长室，所述延长室从所述负载锁定室的下部向侧方延长；以及泵，所述泵配置于所述延长室的下方，并经由所述延长室排出所述负载锁定室的气体。所述延长室具有在从所述基板保持件的铅垂下方偏离的位置具有开口的底面，所述泵与所述开口连接。 | ||
| 搜索关键词： | 负载 锁定 装置 | ||
【主权项】：
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