[发明专利]支撑件、振动隔离系统、光刻设备、物体测量设备、器件制造方法在审
| 申请号： | 202080054855.6 | 申请日： | 2020-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN114174693A | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | J·J·M·范德威亚德文;J·P·M·B·弗穆伦;J·P·斯塔雷维尔德;S·H·范德莫伦 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | F16F1/02 | 分类号： | F16F1/02;F16F1/06;F16F1/13;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 赵林琳 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种支撑件(1)，包括：第一端部(2)和第二端部(3)，其中第二端部(3)在支撑件的纵向方向上位于与第一端部(2)相反的一侧上；线圈弹簧(4)，被布置在第一端部(2)和第二端部(3)之间，该线圈弹簧(4)包括：第一螺旋构件(5)，在支撑件(1)的圆周方向上在第一端部(2)和第二端部(3)之间延伸；以及第二螺旋构件(6)，在支撑件(1)的圆周方向上在第一端部(2)和第二端部(3)之间延伸，其中线圈弹簧的第一螺旋构件(5)和线圈弹簧(4)的第二螺旋构件(6)相对于彼此是可移动的，其中支撑件(1)还包括被附接到第一螺旋构件(5)的阻尼器装置(20)。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑 振动 隔离 系统 光刻 设备 物体 测量 器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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