[发明专利]双(乙基环戊二烯基)锡、化学蒸镀用原料、含有锡的薄膜的制备方法及锡氧化物薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 202080056425.8 | 申请日： | 2020-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN114206890A | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 高桥伸尚;水谷文一;东慎太郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社高纯度化学研究所 |
| 主分类号： | C07F17/00 | 分类号： | C07F17/00;C23C14/00;C23C14/08;C23C14/14;C23C16/18;C23C16/455 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 童春媛;庞立志 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供以双(乙基环戊二烯基)锡为代表的、即使在低温下也具有高蒸气压的双(烷基环戊二烯基)锡或双(烷基四甲基环戊二烯基)锡，以及以这些有机锡化合物为主成分的化学蒸镀用原料，和利用使用该化学蒸镀用原料的原子层沉积法的含有锡的薄膜的制备方法。化学蒸镀用原料，含有用下述式(1)表示的双(烷基环戊二烯基)锡或双(烷基四甲基环戊二烯基)锡作为主成分。在式(1)中，R |
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| 搜索关键词： | 乙基 环戊二烯基 化学 蒸镀用 原料 含有 薄膜 制备 方法 氧化物 | ||
【主权项】：
暂无信息
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