[发明专利]基板的位置对准方法在审
| 申请号： | 202080058556.X | 申请日： | 2020-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN114258474A | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 古林刚;结城彻;平田树里 | 申请（专利权）人： | 株式会社JEL |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/26;G01B11/27;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 金兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 包括：使用光学单元，遍及载置到载物台上的基板的整周测定基板的边缘各部分的位置，由此取得表示边缘各部分的位置的一次位置数据的步骤(S31)；使载物台在规定方向上移动规定量，使用光学单元，遍及载物台移动后的基板的整周测定基板的边缘各部分的位置，由此取得表示移动后的边缘各部分的位置的二次位置数据的步骤(S33)；使用一次位置数据和二次位置数据，计算载物台移动前与移动后的边缘各部分的位置的差分量的步骤；及根据各个差分量和载物台的移动量计算边缘各部分的光学倍率的比率，并基于计算出的边缘各部分的光学倍率的比率来校正一次位置数据的边缘各部分的位置，取得校正位置数据的步骤(S34)。 | ||
| 搜索关键词： | 位置 对准 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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