[发明专利]微反射镜阵列在审
| 申请号： | 202080058816.3 | 申请日： | 2020-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN114341700A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | L·R·S·哈斯普斯劳格;V·罗切斯;G·布兰达尼·托里;A·哈尔巴赫;N·潘迪;S·A·戈登 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 赵林琳 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 微反射镜阵列包括：衬底；用于反射入射光的多个反射镜；以及针对多个反射镜中的每个反射镜，将衬底连接到反射镜的相应的柱。针对多个反射镜中的每个反射镜，微反射镜阵列还包括被连接到衬底的一个或多个静电致动器，该一个或多个静电致动器用于向柱施加力以使柱相对于衬底进行位移，由此使反射镜进行位移。还公开了一种形成该微反射镜阵列的方法。微反射镜阵列可以用于可编程照射器中。可编程照射器可以用于光刻设备和/或检查设备中。 | ||
| 搜索关键词： | 反射 阵列 | ||
【主权项】：
暂无信息
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