[发明专利]用于制造光伏电池的方法在审

专利信息
申请号: 202080060011.2 申请日: 2020-08-25
公开(公告)号: CN114303252A 公开(公告)日: 2022-04-08
发明(设计)人: 拉斐尔·卡巴尔;伯纳黛特·格朗热 申请(专利权)人: 原子能和替代能源委员会
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/068;H01L31/0368;H01L31/0288;H01L31/0216;H01L21/225
代理公司: 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 代理人: 程强;谢攀
地址: 法国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 所述方法包括以下步骤:a)设置一结构,所述结构包括:‑基于结晶硅的衬底(1);‑第一介电层(2),其包括硼原子,并形成于所述衬底(1)的第一表面(10)上;‑隧道氧化物膜(3),其形成于所述衬底的第二表面(11)上;‑多晶硅层(4),其形成于所述隧道氧化物膜(3)上;‑第二介电层(5),其包括磷和/或砷原子,并形成于所述多晶硅层(4)上;b)对所述结构施加热处理,以便:‑使得所述硼原子扩散到所述衬底(1)的第一表面(10)之下,以形成第一掺杂半导体区域(100);‑使得所述磷和/或砷原子扩散到多晶硅层(4)中,以掺杂所述多晶硅层(4)。
搜索关键词: 用于 制造 电池 方法
【主权项】:
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