[发明专利]工件的双面研磨方法在审
| 申请号： | 202080067215.9 | 申请日： | 2020-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN114401823A | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 野中英辅;平岩幸二郎 | 申请（专利权）人： | 胜高股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/24 | 分类号： | B24B37/24;B24B37/12;B24B37/28;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张泽洲;王玮 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的工件的双面研磨方法通过具有保持工件的1个以上的保持孔的载板在该保持孔中保持所述工件而进行该工件的双面研磨，该工件的双面研磨方法包括取得所述保持孔的内周径与所述工件的边缘下降量的关系的工序；根据期待的边缘下降量以及取得的所述保持孔的内周径与所述工件的边缘下降量间的关系，决定所述保持孔的内周径的工序；以及使用具有已决定的内周径的所述保持孔的所述载板，进行所述工件的双面研磨的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 双面 研磨 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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