[发明专利]低温泵、低温泵系统及低温泵的运转开始方法在审
申请号: | 202080069063.6 | 申请日: | 2020-10-16 |
公开(公告)号: | CN114555943A | 公开(公告)日: | 2022-05-27 |
发明(设计)人: | 谷津贵裕;木村敏之 | 申请(专利权)人: | 住友重机械工业株式会社 |
主分类号: | F04B37/08 | 分类号: | F04B37/08;F04B37/16;B01D53/04 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的低温泵(10)具备:不燃性吸附材料(64);及控制器(100),所述控制器为了开始低温泵(10)的真空排气运转依次执行如下步骤:通过使不燃性吸附材料(64)在室温或比其更高的温度下暴露于干燥环境,使不燃性吸附材料(64)脱水;不燃性吸附材料(64)的脱水之后,对不燃性吸附材料(64)的周围环境进行真空排气;及在真空环境下将不燃性吸附材料(64)冷却至超低温。 | ||
搜索关键词: | 低温泵 系统 运转 开始 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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