[发明专利]弹性波装置在审
| 申请号： | 202080076647.6 | 申请日： | 2020-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN114641931A | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 岩本英树 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/05;H03H9/17;H03H9/25 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 赵琳琳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种使用碳化硅基板作为支承基板并能够抑制高阶模的弹性波装置。本发明的弹性波装置(1)具备：支承基板；压电体层，设置在支承基板上；以及IDT电极(5)，设置在压电体层上，并具有多个电极指。支承基板是碳化硅基板(2)，该碳化硅基板(2)是3C‑SiC型的立方晶构造。压电体层是钽酸锂层(4)或铌酸锂层。利用SH波作为主模。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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