[发明专利]用于制造显示器的光刻胶剥离液组合物在审
| 申请号： | 202080078373.4 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN114651215A | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 崔好星;金圭祥;李锺淳;河相求;全炳宇;梁允模;卞杞天;崔然洙;金善正 | 申请（专利权）人： | LTC有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;C11D11/00;C11D7/32;C11D7/36;C11D7/26;C11D7/50 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 崔兰 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于制造显示器的光刻胶剥离液组合物，涉及一种能够用于制造显示器的所有工艺的光刻胶剥离液组合物。更具体地，本发明的用于制造显示器的光刻胶剥离液组合物能够应用于所有过渡金属及氧化物半导体电线，具有优异的去除在硬烘烤(Hard Baked)工艺、注入(Implant)工艺及干法蚀刻(Dry Etch)工艺后产生的变性的光刻胶的能力。尤其，示出对于干法蚀刻后易受腐蚀的铜(Cu)线图案边缘部分进一步特化的腐蚀抑制效果。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 显示器 光刻 剥离 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于LTC有限公司，未经LTC有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202080078373.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于导管的弹性应力消除层
- 下一篇：液体净化系统
