[发明专利]真空工艺室的进气阀

摘要

本发明涉及用于将工艺气体可控输入真空工艺室的进气阀(1)，其中该进气阀包括：气体流通单元(2)，其具有进气口(21)、出气口(22)和自由接近所述进气口和出气口的内体积(23)，其中该气体流通单元具有在内体积中的密封面；具有调节单元(31)的调节装置(3)，其中该调节单元突入内体积中并在该调节装置中可调节地安装在气体流通单元之外，其中该调节单元具有布置在该内体积中的板(32)，其中该板可通过该调节装置被置入关闭位置，在关闭位置中该板安放在密封面上并因此防止气流，并且其中该板可通过该调节装置被置入打开位置，在打开位置中该板与密封面间隔开并因此允许气体流动；两个柔性密封件(41,42)，它们均被固定至所述气体流通单元和调节单元并由此密封该内体积；位置确定单元，其布置在该调节装置之上或之中并适于确定该调节单元的具有相对于该板的固定局部关系的一部分的位置。