[发明专利]基板输送装置和基板处理系统在审
| 申请号： | 202080080938.2 | 申请日： | 2020-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN114731104A | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | 波多野达夫;宫下哲也;渡边直树;铃木直行 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H02K41/03 | 分类号： | H02K41/03 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种输送基板的基板输送装置。基板输送装置包括：第1平面马达，其设于第1室，并具有排列着的线圈；第2平面马达，其设于与所述第1室连接的第2室，并具有排列着的线圈；一对输送单元，其在所述第1平面马达和/或所述第2平面马达上移动，并能够输送基板；以及控制部，其控制所述第1平面马达和所述第2平面马达的线圈的通电。 | ||
| 搜索关键词： | 输送 装置 处理 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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