[发明专利]用于改善的热均匀性与轮廓控制的线性灯阵列在审
| 申请号： | 202080085703.2 | 申请日： | 2020-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN114929949A | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 布莱恩·伯罗斯;刘树坤;叶祉渊 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C30B25/10 | 分类号： | C30B25/10;C30B25/08 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文提供了用于在处理腔室中使用的上反射器组件的方法和设备。在一些实施方式中，一种用于在处理腔室中使用的上反射器组件包括：反射器安装环；及上反射器板，耦接到反射器安装环，并具有上表面和下表面，其中下表面包括多个线性通道，多个线性基本彼此平行地延伸跨过下表面，且其中上反射器板包括空气冷却狭槽，空气冷却狭槽从上表面延伸到下表面。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 改善 均匀 轮廓 控制 线性 阵列 | ||
【主权项】：
暂无信息
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