[发明专利]脉冲宽度扩展装置和电子器件的制造方法在审
| 申请号： | 202080091363.4 | 申请日： | 2020-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN114902143A | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 宫本浩孝;若林理 | 申请（专利权）人： | 极光先进雷射株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01S3/10;H01S3/225 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于英慧;蔡丽娜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的一个观点的脉冲宽度扩展装置具有偏振分束器和转印光学系统。转印光学系统具有：1/4波长镜对，其包含使脉冲激光的相位偏移1/4波长而进行反射的第一1/4波长镜和使在第一1/4波长镜反射后的脉冲激光的相位偏移1/4波长而进行反射的第二1/4波长镜；以及反射镜对，其被配置于1/4波长镜对的前后的光路或1/4波长镜对之间的光路上。转印光学系统将输入脉冲激光在偏振分束器中的像在1/4波长镜对之间的光路上等倍地转印为第一转印像，将第一转印像在偏振分束器等倍地转印为第二转印像。 | ||
| 搜索关键词： | 脉冲宽度 扩展 装置 电子器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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