[发明专利]用于辊运输系统的载体、辊运输系统和具有辊运输系统的真空处理设备在审
| 申请号： | 202080096979.0 | 申请日： | 2020-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN115103926A | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 克里斯蒂安·沃尔夫冈·埃曼;奥利弗·海默尔 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C16/54;H01L21/677;B65D19/00;B65G13/00;B65G54/02;C23C14/50;C23C14/56;C23C16/04;C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据本公开内容的一个方面，提供了一种用于在辊运输轨道(200a、200b)上沿运输方向(X)运输的载体(100)。所述载体(100)包括：第一辊接触表面(120a)，所述第一辊接触表面被配置为将所述载体(100)支撑在所述辊运输轨道(200a)的至少一个第一辊(210a)上；以及第二辊接触表面(120b),所述第二辊接触表面被配置为将载体(100)支撑在所述辊运输轨道(200b)的至少一个第二辊(210b)上；其中所述第一辊接触表面(120a)和所述第二辊接触表面(120b)在所述运输方向(X)上分开，其中在两者间存在空间。根据其他方面，提供了一种辊运输系统和一种真空处理设备。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 运输 系统 载体 具有 真空 处理 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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