[发明专利]换卷腔室、卷对卷处理系统和连续地提供柔性基板的方法在审
| 申请号： | 202080106919.2 | 申请日： | 2020-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN116438129A | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 弗兰克·施纳朋伯杰;托马斯·莱普尼茨 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B65H19/18 | 分类号： | B65H19/18 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;吴启超 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了一种用于更换基板卷(10)的换卷腔室(100)。所述换卷腔室(100)包括可绕中心轴线(111)旋转的可旋转基部构造(110)。所述基部构造(110)包括：第一卷保持器(120)，所述第一卷保持器用于保持第一基板卷(121)第二卷保持器(130)，所述第二卷保持器用于保持第二基板卷(131)；以及壁(140)，所述壁用于在所述换卷腔室(100)中提供第一隔室(101)和第二隔室(102)。所述壁(140)布置在所述第一卷保持器(120)与所述第二卷保持器(130)之间。另外，描述了一种具有换卷腔室的卷对卷处理系统以及一种在卷对卷处理系统中连续地提供柔性基板的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 换卷腔室 处理 系统 连续 提供 柔性 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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