[其他]用于处理腔室的腔室元件有效
| 申请号： | 202090000944.8 | 申请日： | 2020-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN217757639U | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 林丽萍;斯里斯卡塔拉贾赫·西里纳瓦卡拉苏;艾娜．王 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/34;H01J37/34 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 揭示了用于处理腔室的腔室元件。在一个实施方式中，用于处理腔室的所述腔室元件包括具有一体式整体构造的元件部件主体。元件部件主体具有外表面。在外表面上形成设计复合表面。设计复合表面具有由多个第一互连板条形成的第一格子状框架，并且由多个板条中的三个或更多个板条界定多个第一开口。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 处理 元件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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