[发明专利]用于半导体用石英板的抛光上盘装置及抛光上盘方法有效
| 申请号： | 202110007478.7 | 申请日： | 2021-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN112847101B | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 单佩;陈佳骅 | 申请（专利权）人： | 上海菲利华石创科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B41/00;B24B41/06;B24B1/00;F28C3/00 |
| 代理公司： | 上海和华启核知识产权代理有限公司 31339 | 代理人： | 达晓玲 |
| 地址： | 201801 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体用石英板上盘技术领域，具体涉及一种抛光上盘装置及抛光上盘方法。其中，用于半导体用石英板的抛光上盘装置，包括底座，底座上设有水平移动机构，水平移动机构上分别设有高温恒温水箱和低温恒温水箱，还包括升降篮，升降篮内底面上设置有升降篮卡槽，升降篮通过升降气缸安装在高温恒温水箱和低温恒温水箱上方，升降篮内设有加压提篮，加压提篮通过加压气缸安装在升降篮顶部的内壁上，加压提篮内底面设有加压卡槽，加压卡槽上卡接吸盘装置，吸盘装置的底面穿过加压卡槽后位于升降篮内底面上方，吸盘装置的底面用于吸住半导体用石英板。本发明结构简单，操作便利；提高了操作员工的工作环境，降低安全隐患。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 半导体 石英 抛光 上盘 装置 方法 | ||
【主权项】：
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