[发明专利]制备三维手性U型结构的方法在审
申请号: | 202110019072.0 | 申请日: | 2021-01-07 |
公开(公告)号: | CN112877643A | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 吕岩 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/02;C23C14/04;C23C14/18 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 710000 陕西省西安*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明涉及一种制备三维手性U型结构的方法,具体而言,涉及手性结构领域,本申请通过利用聚苯乙烯小球模板中小球之间的对角的间隙做模板,并利用倾斜蒸镀玻璃板的方法加高聚苯乙烯小球模板中小球的高度,使得小球之间的间距大阴影效应不明显,可操作空间变大,作为模板蒸镀金属结构,并且在现有技术的制作方法的基础上减少了涂覆聚甲基丙烯酸甲酯材料、氧刻蚀和除胶的步骤,使得步骤更加简化,进一步的减少了操作难度,也节约了制作成本。 | ||
搜索关键词: | 制备 三维 手性 结构 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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