[发明专利]一种用于电镜观察的微米级球形颗粒截面的制备方法有效

专利信息
申请号: 202110023510.0 申请日: 2021-01-08
公开(公告)号: CN112858362B 公开(公告)日: 2022-05-27
发明(设计)人: 邓超;文婷婷;洪睿;杨帅;周仕远;刘施峰 申请(专利权)人: 重庆大学
主分类号: G01N23/2251 分类号: G01N23/2251;G01N23/2202;G01N1/32
代理公司: 重庆双马智翔专利代理事务所(普通合伙) 50241 代理人: 顾晓玲
地址: 400044 *** 国省代码: 重庆;50
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摘要: 发明公开了一种用于电镜观察的微米级球形颗粒截面的制备方法,包括如下步骤:(1)将导电胶带粘贴于导电金属基体上;(2)取微米级球形颗粒粉末平铺粘在导电胶带上,并吹走多余粉末;(3)将粘有粉末的导电金属基体置于离子束抛光机内进行抛光,采用平面抛光模式,抛光角度为0~2°,抛光电压和时间为5~8kV 5~40min+3~5kV 5~20min+0.5~2kV 5~20min,即可获得满足扫描电镜观察的颗粒截面。本发明不需要包埋处理,不用消耗额外的制样耗材;时间短,成本低,操作性强;耗时仅为截面抛光模式的十分之一,抛光效率高;获得的样品有效面积大,用于扫描电镜观察的可选择区域多。
搜索关键词: 一种 用于 观察 微米 球形 颗粒 截面 制备 方法
【主权项】:
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