[发明专利]一种用于封装芯片的真空钎焊炉均热封板在审
申请号: | 202110023813.2 | 申请日: | 2021-01-08 |
公开(公告)号: | CN112872541A | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 温彦平 |
主分类号: | B23K3/08 | 分类号: | B23K3/08;B23K1/008 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 163000 黑龙江省大*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 本发明涉及芯片封装技术领域,且公开了一种用于封装芯片的真空钎焊炉均热封板,包括副腔,副腔的左侧设置有真空室,真空室内设置有加热管,真空室的外部设置有空心层,空心层的下部设置有真空管,真空管的下端设置有连接阀,空心层的右端设置有密封圈,副腔靠近密封圈的内壁设置有动接头,动接头的右侧设置有弹性棒,副腔的中心设置有转筒,转筒的内部耦接导气管,转筒的外部套接有连接套,连接套左侧的外部设置有反射板。该用于封装芯片的真空钎焊炉均热封板,通过密封板隔开,真空室与副腔两部分独立的负压区域,使得真空度和温度更易调节,在破真空时,密封副腔的设置可以控制气流的大量涌入,使得冷却更加均匀。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 封装 芯片 真空 钎焊 均热 | ||
【主权项】:
暂无信息
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