[发明专利]一种溅射靶材用钼铌合金靶材的制备方法及装置在审
| 申请号： | 202110024197.2 | 申请日： | 2021-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN112853284A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 陆有军;高杰;刘洋;林立群;刘乡;万治清 | 申请（专利权）人： | 北方民族大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14;B22F9/04;B22F3/04;B22F1/00;B22F3/15;B22F3/24 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 张学府 |
| 地址： | 750021 宁夏回族*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种溅射靶材用钼铌合金靶材的制备方法及装置，其技术方案是：包括研磨混料仓，研磨混料仓底部两端均固定连接有支撑斜板，研磨混料仓顶部设有电机，电机两侧均设有进料漏斗，进料漏斗底部固定连接有进料管道，进料管道与研磨混料仓顶部固定连接，进料管道一侧固定连接有密封阀，研磨混料仓内侧设有研磨混合机构，一种溅射靶材用钼铌合金靶材的制备方法及装置的有益效果是：提升了生产的钼铌合金靶材质量，降低了成本浪费，避免了现有的钼金属粉末和铌金属粉末混合时无法完全混合均匀，导致钼铌金属混合粉末在冷等静压时压坯孔隙度较高，造成烧结后板材密度较低，生产的钼铌合金靶材质量较差而使得生产效率较低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 靶材用钼铌 合金 制备 方法 装置 | ||
【主权项】：
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