[发明专利]电浆清洁设备在审
| 申请号： | 202110036553.2 | 申请日： | 2021-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN114765102A | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 林俊成;郑耀璇 | 申请（专利权）人： | 鑫天虹(厦门)科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67;B08B7/00 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 361101 福建省厦门市厦门火*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明是一种电浆清洁设备，包括腔体、射频电极、载台、电极与第一遮板，其中第一遮板相邻腔体顶部，且第一遮板具有复数第一开口以形成非平整底面。在电浆清洁设备的清洁过程中，氩离子撞击载台上的铝基板，而溅镀出来的铝与腔体中的脏污反应，并吸附在第一遮板的非平整底面，以降低腔体他处受脏污附着的机率。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 设备 | ||
【主权项】：
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