[发明专利]一种开方机加工精度评价方法有效
| 申请号： | 202110039771.1 | 申请日： | 2021-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN112880612B | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 仇健;刘崇宁 | 申请（专利权）人： | 青岛高测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/08 | 分类号： | G01B21/08;G01B21/20;G01B21/24;G01B21/30 |
| 代理公司： | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人： | 于晶晶 |
| 地址： | 266114 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开一种开方机加工精度评价方法，包括分别测量评价开方后硅棒的对称面极差、各平面的最大直线度偏差或最大平面度偏差、截面形状、长度方向形状以及轮廓形状中的一种或多种。通过直线度或平面度两种机制，对被测点采取相同的测量流程来测量尺寸精度，再经过不同的处理手段，获得更加准确的切割面信息，相比原有的极差方法反映加工表面的依据更加全面；通过选取特定测点，实现对截面整体形状的把控，流程简单易操作；本方法精度要求高，有利于把控产品的成品质量；本方法通过统计分析加工误差分布的大致位置，有助于获得调整误差分布相关信息，提高成品合格率；可通过本方法将误差分布作为后期修改工艺的依据，提升产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 开方 加工 精度 评价 方法 | ||
【主权项】：
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