[发明专利]用于稳定反应室压力的系统和方法

摘要

一种反应器系统，可以包括：第一气体源；第二气体源；以及反应室，该反应室流体联接到第一气体源和第二气体源，其中第一气体和第二气体可以分别从第一气体源和第二气体源供应到反应室，以实现反应室压力的稳定性。所述反应器系统还可以包括：排气管线，该排气管线流体联接至反应室并位于反应室下游；通风管线，该通风管线流体联接到第一和/或第二气体源，并且流体联接到排气管线，其中通风管线旁路反应室；联接到通风管线的压力监测器，该压力监测器配置成监测通风管线内的通风管线压力；和/或通风管线传导控制阀，该通风管线传导控制阀联接到通风管线并配置成响应于来自压力监测器的反馈而进行调节。