[发明专利]一种具有混镀的高效真空电镀装置有效
| 申请号： | 202110043156.8 | 申请日： | 2021-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN112877646B | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 林惠娟;李平;黎应伦;李法坤;董永全 | 申请（专利权）人： | 嘉讯科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种具有混镀的高效真空电镀装置，属于电镀设备领域，包括机架，机架上设置有真空罩，真空罩内设置有电镀架以及蒸发器，机架上还设置有为蒸发器输送电镀材料的送料装置，送料装置包括送料管以及送料机构，送料管安装在机架上，送料机构包括筛选器以及频率控制器，筛选器以及频率控制器均安装在机架上，频率控制器包括转动盘以及安装在机架上用于驱动转动盘转动的驱动件，转动盘上开设有存料孔，存料孔与送料管配合，送料管延伸至蒸发器内。本申请具有能让电镀材料进入的速度进行控制，提高电镀效率的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 高效 真空 电镀 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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