[发明专利]金属掩膜板及其使用方法有效
| 申请号： | 202110055597.X | 申请日： | 2021-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN112899613B | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 段廷原 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 远明 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种金属掩膜板及其使用方法，该金属掩膜板包括金属框架以及固定于金属框架上的掩膜网板，掩膜网板设置有凹槽，凹槽内设置有光致变形层，在光源的光照下，光致变形层发生变形，并凸出凹槽，改变待蒸镀基板与金属掩膜板之间的距离，间接改变了蒸镀有机材料和金属材料成膜区域面积，实现一个金属掩膜板先后蒸镀两种膜层，避免了更多的对位/分离设备，大大节省蒸镀腔体长度和设备费用，降低OLED器件的制备成本。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 掩膜板 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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