[发明专利]一种塑封封装结构及其制造方法在审

专利信息
申请号: 202110064612.7 申请日: 2021-01-18
公开(公告)号: CN112908947A 公开(公告)日: 2021-06-04
发明(设计)人: 徐成;曹立强;孙鹏;耿菲 申请(专利权)人: 上海先方半导体有限公司;华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
主分类号: H01L23/31 分类号: H01L23/31;H01L21/56;H01L23/488;H01L21/60
代理公司: 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 代理人: 张瑞莹;张东梅
地址: 200000 上海市浦东新区自*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开一种塑封封装结构,包括转接板,贴装于转接板上的芯片,包覆芯片的第二塑封层,以及包覆转接板上凸点的第一塑封层,转接板上设置有硅通孔,其第一表面及第二表面分别设置有与硅通孔电连接的外接焊球和/或外接焊盘。该封装结构的制作过程包括:采用键合的方式完成转接板第二表面工艺后,通过第一塑封层包覆载板及转接板,形成塑封晶圆,然后进行切割、去键合、贴片等后续工艺,完成封装。
搜索关键词: 一种 塑封 封装 结构 及其 制造 方法
【主权项】:
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