[发明专利]一种可防止显影液背流的显影装置在审
| 申请号： | 202110068484.3 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN114815525A | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 王冲;王宇新 | 申请（专利权）人： | 宁波润华全芯微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人： | 尉伟敏 |
| 地址： | 315400 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种可防止显影液背流的显影装置，包括真空吸头、挡板、引流结构、负压管、护圈导轨、护圈、推杆、距离传感器；所述真空吸头安装在电机轴上；电机与所述挡板均固定在底座上方；所述引流结构安装在挡板上表面；所述负压管后端与挡板上方开孔处连接；所述护圈导轨安装在挡板顶端凹槽内；所述护圈与护圈导轨的上表面连接；所述距离传感器位于晶圆上方。本发明有益效果如下：巧妙利用设备原有真空吸头的负压吸力，对多余显影液进行引流并收集，防止显影液流入晶圆背面，保障了工艺安全性；可全程自动实时调节显影液的引流过程，使调节更加精确可靠；采用引流结构和带斜面护圈的双层保护，增强了显影液的引流效果，从而更好保障了设备安全。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可防止 显影液 显影 装置 | ||
【主权项】：
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