[发明专利]MEMS传感器和电子设备在审
| 申请号： | 202110072854.0 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN112830447A | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 陈岭 | 申请（专利权）人： | 潍坊歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 梁馨怡 |
| 地址： | 261000 山东省潍坊市潍坊高新区新*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开一种MEMS传感器和应用该MEMS传感器的电子设备。其中，MEMS传感器包括外部封装结构、MEMS芯片、防水透气膜以及以及发热模块，外部封装结构的内部形成有收纳腔，外部封装结构开设有与收纳腔连通的透气孔；MEMS芯片设于收纳腔内，并与透气孔连通设置；防水透气膜设于外部封装结构的外表面，并罩盖透气孔；发热模块设于透气孔内，且仅占据部分透气孔的透气通道。本发明的技术方案可使MEMS传感器在涉水后能够快速恢复使用。 | ||
| 搜索关键词： | mems 传感器 电子设备 | ||
【主权项】：
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