[发明专利]一种磁过滤扫描磁场装置有效
| 申请号： | 202110080477.5 | 申请日： | 2021-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN112725733B | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 程文雅;童丽香;管树敏;于瑞伶;许亚楠;魏新华;李波 | 申请（专利权）人： | 张家口柔电表面技术有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/35;C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 王富强 |
| 地址： | 075300 河北省张家*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磁过滤扫描磁场装置，涉及磁过滤技术领域，包括磁过滤管道，所述磁过滤管道的出口两侧均设置有铁芯，所述铁芯外侧缠绕有线圈，所述线圈通电产生磁力线，所述磁过滤管道的内部设置有偏压板，所述偏压板的位置与所述铁芯的位置对应。本发明的线圈产生的磁力线的方向和偏压板的电压均交替变化，使离子束斑的形状发生明显的改变，由原来的圆形束斑变成长方形束斑，大大提高了离子束斑的纵向宽度，在处理长条形工件时有着非常明显的优势，提高了均匀性和效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 过滤 扫描 磁场 装置 | ||
【主权项】：
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