[发明专利]一种晶圆载具自动下螺丝装置有效
| 申请号： | 202110085103.2 | 申请日： | 2021-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN112404945B | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 王子龙;李凯杰;陈仁明;李健;曹智 | 申请（专利权）人： | 山东元旭光电股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P19/00 | 分类号： | B23P19/00;B23P19/06 |
| 代理公司： | 济南诚智商标专利事务所有限公司 37105 | 代理人： | 马春燕 |
| 地址： | 261000 山东省潍坊市高新*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明属于晶圆下片技术领域，提供了一种晶圆载具自动下螺丝装置，包括机架，机架上设有倍速链输送线、载具定位机构和自动下螺丝机构，倍速链输送线上设有阻挡气缸，阻挡气缸分别于载具定位机构两端设置，自动下螺丝机构位于载具定位机构上方；载具定位机构包括活塞气缸驱动的升降托板，升降托板顶面设有定位销，倍速链输送线两侧设有托盘限位块和盖板限位板，处于定位状态时，晶圆载具定位夹持于升降托板和托盘限位块、盖板限位板之间，且托盘限位块延伸至晶圆载具的托盘设置，盖板限位板延伸至盖板设置。本发明能够实现对晶圆载具的自动下螺丝，不但实现人工劳动力的有效替代，且工作效率大大提高，避免了对料盘或内部晶圆造成损伤事故的发生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆载具 自动 螺丝 装置 | ||
【主权项】：
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