[发明专利]一种去除晶圆背面边缘薄膜的设备

摘要

本发明公开了一种去除晶圆背面边缘薄膜的设备，其结构包括除膜机构、调节把手、控制器、闭合器，调节把手贯穿于除膜机构侧面内部，闭合器安装于除膜机构上端，控制器嵌固在除膜机构左侧上端，杠杆板通过活动槽下端的支撑环进行杠杆活动，伸缩杆有规律的升降，使得固定盘上的晶圆进行上下倾斜活动，增加去除薄膜的倾斜角度，避免了单一的倾斜角度容易造成边缘清洗刮除效果较弱的问题，防止晶圆边缘清洗刮除不干净，橡胶板左侧的摩擦块对薄膜进行去除，摩擦块使晶圆倾斜时进行竖向作用力，通过橡胶板的弧形结构避免刮除时中间产生内陷，且橡胶板的弧形结构对晶圆边缘沿角位置的受力较好，防止晶圆边缘沿角位置清洗刮除不干净。