[发明专利]掩膜板及蒸镀装置在审
| 申请号： | 202110098880.0 | 申请日： | 2021-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN112899614A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 颜明哲 | 申请（专利权）人： | 维信诺科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 方晓燕 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种掩膜板及蒸镀装置，本发明实施例中的技术方案，掩膜板包括掩膜板本体，所述掩膜板本体包括蒸镀区和遮挡区，所述掩膜板还包括：支撑条，位于所述掩膜板本体的第一侧的所述遮挡区；隔离部，位于所述掩膜板本体的第二侧的所述遮挡区，所述第一侧与所述第二侧分别位于所述掩膜板本体的相对的两侧。通过在掩膜板的第一侧和第二侧分别设置支撑条和隔离部，分别给掩膜板本体和基板以支撑，减小了掩膜板的侧向偏移，减小蒸镀偏位。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 装置 | ||
【主权项】：
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