[发明专利]电子束光刻机在审
| 申请号： | 202110102522.2 | 申请日： | 2021-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN112947008A | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 辛振祥;辛硕 | 申请（专利权）人： | 辛振祥 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 宁夏三源鑫知识产权代理事务所(普通合伙) 64105 | 代理人： | 孙彦虎 |
| 地址： | 016200 内蒙古自治区鄂尔*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种电子束光刻机，包括真空装置、支撑架、光电阴极板、光线及光束引导装置、第一光源、第二光源、电磁透镜及硅片承载台，光电阴极板覆盖在光束引导腔体的上开口上，第一光线引导接收腔体、第二光线引导接收腔体设置在光束引导腔体的两侧，且靠近上开口，第一光源、第二光源对应的安装在第一光线引导接收腔体、第二光线引导接收腔体中，且第一光源、第二光源发射的光线照射在光电阴极板上，且从光电阴极板上反射的光线对应的射入第二光线引导接收腔体、第一光线引导接收腔体中，如此将反射光线导入对侧的光线引导接收腔体中，这样光电阴极板上的反射光就不会被反射到工作台的硅片上，能有效的防止了光电阴极板的反射光到光刻胶上产生有害曝光。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束光刻 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于辛振祥，未经辛振祥许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110102522.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种内窥镜用管及内窥镜
- 下一篇：一种大腿骨折恢复时辅助恢复设备
